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离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用

上传者: 2021-02-19 23:04:21上传 PDF文件 910.53KB 热度 13次
从离子束清洗、离子束辅助沉积以及离子束后处理三个方面,介绍了离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用背景、应用优势以及存在的问题。
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