193 nm P偏振光大角度减反射膜的实现

对用于193 nm减反射膜的基底材料和薄膜材料的光学性能进行了解析,同时对沉积技术和主要沉积工艺参数进行了分析与优化选择,并在此基础上进行了193 nm大角度入射减反射膜的设计、制备及检测,实现了入射角为68°~72°范围内单面透射率大于96%,剩余反射率小于1%。同时计算了线宽压窄模块棱镜在镀膜前后的单程能量损耗,肯定了实现大角度减反射膜的必要性。