深亚微米激光光刻研究 上传者：qq_22508 2021-02-19 21:44:14上传 PDF文件 414.82KB 热度 12次 报道用远紫外准分子激光进行亚微米光刻的实验结果。以波长为248.3 nm的KrF准分子激光为光源,以光管均匀器为主构成照明系统,采用带有平行平板为像差校正板的11折反射式投影光刻物镜,在两种光刻胶上分别获得了0.6 μm和0.5 μm的光刻分辨率。 下载地址 用户评论 更多下载
