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光学薄膜的宽带膜厚监控装置

上传者: 2021-02-19 17:57:13上传 PDF文件 4.27MB 热度 15次
装置是由配有微机的快速扫描分光光度计组成,在镀膜时不断测量膜层的光谱透射率曲线以监控膜厚,并作了监控三层膜的试验。 装置的性能:测量波长宽度333nm;波长点数:50点;透射率精度:±1%;光谱透射率扫描速度:12c/s。
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