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激光诱导硅表面化学镀镍

上传者: 2021-02-19 07:27:43上传 PDF文件 1.5MB 热度 16次
利用激光诱导化学镀技术,首次在硅片上沉积出金属镍。研究了沉积速率与各实验参量的关系,并对积沉斑的形状进行了分析和讨论。
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