新型SU 8光纤法布里珀罗压力传感器的设计仿真

主要提出了一种利用SU-8光刻胶形成高深宽比结构的新型压力传感器。为了解决传统压力传感器测量范围受限的问题,通过特定的结构设计,实现敏感膜形变量与法布里珀罗(F-P)腔长变化量的分离且相关的关系。该传感器基于F-P干涉原理和相位解调理论测量压力。通过仿真逐一确定了结构参数,在半径为1500 μm,厚度为100 μm的硅圆膜上,利用SU-8光刻胶形成一个边长100 μm,高400 μm的位移柱作为压力传感器的主要感应部件,通过敏感膜受力形变带动位移柱倾斜,以此改变F-P腔的腔长。结构模型的灵敏度通过仿真测得为2.606 μm/MPa。以此为指导进行了基本的工艺实验,明确了主要的工艺步骤。