基于CY7C136双端口RAM实现微机械惯性通用检测系统的设计

随着科学技术的发展,许多新的科学领域相继涌现,其中微米/纳米技术就是诸多领域中引人注目的一项前沿技术。20世纪90年代以来,继微米/纳米技术成功应用于大规模集成电路制作后,以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础的各种微传感器和微机电系统(MEMS)脱颖而出,平均年增长率达到30%。微机械陀螺是其中的一个重要组成部分。目前,世界各个先进工业国家都十分重视对MMG的研究及开发,投入了大量人力物力,低的产品已经问世,正在向高发展。 1 微机械振动陀螺仪的简要工作原理 陀螺系统组成见图1,它由敏感元件、驱动电路、检测电路和力反馈电路等组成。在梳状静电驱动器的差动电容上分别施加带有直流偏置但相位相反的