面向高清电视的光栅平动式光调制器设计验证

提出一种新颖的面向高清电视(HDTV)的微光机电系统(MOEMS)光栅平动式光调制器(GMLM),它利用衍射原理对光进行动态调制,具有较简单的工艺和投影光学系统,其结构适宜形成二维光调制器阵列。针对面向HDTV的应用,提出其指标要求,给出了关键设计公式和设计参数,并设计了符合GMLM特点的加工工艺。最后以加工出来的16×16的GMLM面阵作为激光投影实验对象,验证了GMLM的光学调制原理,证明了加工出的GMLM能够实现对光的动态调制。测量出器件单像素尺寸为52 μm×52 μm,驱动电压6.7 V,对方波的动态响应频率为11.9 kHz,单像素可以满足HDTV投影的驱动要求。实验也表明,GML