基于相位凝固技术的激光反馈干涉系统

基于相位凝固技术的激光反馈干涉术,为验证其可行性及测量分辨率,设计了微位移测量验证系统。在系统中利用相位调制器进行外腔相位调制,采用相位凝固技术进行采样及解调,重构出外部目标物的位移信息。建立了测量系统的模型,进行了基于相位凝固技术的调制解调算法仿真及位移测量验证实验。实验验证了仿真的正确性和系统的可行性,通过比较外部目标物的实际位移与系统重构位移结果,得出测量峰谷值相对误差小于3%。研究表明,此测量方法能够准确地测量出外部目标物的位移信息,可有效提高系统测量分辨率,并可实现微位移的实时测量。