用阴极溅射法得到的氧化钛、氧化铌和氧化锆组成的混合物薄膜的性质

研究了 二氧化钛和五氧化二铌,二氧化钛和二氧化锆,五氧化二铌和二氧化锆等两种氧化物混合物薄膜的光学性质和表面结构。发现这些混合物薄膜的折射率偏离了由单位折射率的加法定理所计算的值。同硅酸盐系薄膜比较,确定保存相当大的光散射和粒状结构。指出了混合物薄膜的性质和质量相当的系统状态的相位图的特性之间的一致性。