激光与X射线光刻竞争 上传者：terranxjq 2021-02-09 23:50:47上传 PDF文件 696.14KB 热度 32次 半导体结构愈来愈小的趋势已集中至以X射线光刻作为实现此目标的最有希望的技术上。虽然X射线光刻离实际生产使用还有好多年,但对此技术已进行了大量研究。在建立实用系统的竞争中,用激光产生X射线已成为领先的技术之一。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
