亚波长金属单狭缝填充金属条的聚焦特性研究

在亚波长金属单狭缝聚焦结构的基础上,提出了一种易于集成加工的亚波长金属单狭缝填充金属条的超分辨率聚焦结构。采用时域有限差分法(FDTD)对该结构的聚焦特性进行了仿真分析。通过分析研究聚焦结构参数对焦效果的影响,获得了超衍射极限的聚焦光斑,该聚焦光斑的归一化光强I 为4.5、焦半径(FWHM)为300 nm(小于λ /2,λ =632.8 nm)。对于±10 nm 的尺寸与定位误差对结构的聚焦特性影响甚微。该模型聚焦结构的横向尺寸仅为2.0 μm ,适用于纳米光子学、集成光子电路等领域,具有较高的应用价值。