一种CCD器件响应度非均匀性校准装置研制

介绍了一种可见光CCD器件响应度非均匀性校准方法,并对校准装置进行了测量不确定度评定。得到可见光CCD器件响应度非均匀性扩展不确定度为0.46%,辐射可调均匀光源的输出口直径可达200 mm,并选用CCD器件对测量装置的测量不确定度进行了验证,通过验证可知测量CCD器件的重复性为0.003%和0.005%,远小于测量装置的合成测量不确定度0.23%,说明校准装置的测量不确定度是合理的。