光机系统的一体化仿真分析

建立了光机一体化仿真方法,从而实现对光学系统的性能评估。利用Ansys有限元软件进行热-结构仿真,将得到的数据文件进行刚体位移分离时采用新的评价函数,通过设置位移参量和随机值验证计算精度达到0.3%。运用Householder算法做Zernike拟合,将拟合系数作为与ZEMAX进行通信的数据接口,并采用动态数据交换技术实现Matlab与Zemax的数据交换。在此基础上给出一个角度检测物镜仿真的实例,得到了光学畸变随温度变化的曲线,说明为达到1′′的测量精度,需保证工作温度范围为14~26 °C。