空间光调制器像素尺寸对非球面检测误差影响分析

空间光调制器(SLM)可以在电驱动等信号控制下, 实时调节振幅、相位、偏振态等信息, 近年来已被尝试用于代替计算全息(CGH)板实现非球面检测。SLM像素尺寸在3.5~20 μm, 远大于CGH板刻蚀分辨率, 使得SLM的相位调制量在像素尺度离散化, 与理想的连续相位存在误差, 带来检测精度的降低。因此, 有必要评估SLM像素尺寸对检测精度的影响, 从而选择合适像素尺寸的SLM。基于菲涅耳衍射原理以及快速傅里叶变换算法, 仿真波面经SLM调制并传播到待测表面的过程, 并探究待测面处生成波面精度与SLM像素尺寸大小之间的关系。对多组波面进行仿真并分析波面误差分布发现, SLM生成补偿波面误差与S