退火对金属介质多层膜的界面扩散及抗化学清洗性能的影响

对金属介质多层膜样品进行不同温度的退火处理。实验发现,当退火温度为350 °C时,在样品Au层与SiO2层的界面处出现过渡层,样品具有很强的抗化学清洗能力。利用透射电子显微镜观测与能谱仪分析发现,过渡层的出现主要是Cr原子从Au层底部扩散到SiO2层的结果。过渡层可以增强Au层与SiO2层间的粘附力,阻挡酸溶液的渗入,使得金属介质多层膜的抗化学清洗能力得到增强。