传统的相移阴影叠栅轮廓术在垂直于光栅面方向移动光栅实现相移,由于相移是非线性的,需要较多帧的条纹图进行相位解调。为了减少条纹图帧数,节约测量时间,并简化测量过程,提出一种基于主量分析法的三帧随机相移阴影叠栅技术。主量分析法通过时域平均去除背景,对较少帧的条纹图直接使用主量分析法会产生直流分量去除误差,因而先将条纹图正则化,再应用主量分析法求取相位。实验表明,相对于直接使用主量分析法,利用正则化主量分析法可以明显减小测量误差。分别使用正则化主量分析法和五步相移法对同一物体表面进行测量,两次测量结果之差在±5 μm内,说明了正则化主量分析法的有效性。
