波纹膜片式法布里 珀罗光纤微压传感器的设计和测试

近年来,微压传感器正经历由电子微压传感器向光学微压传感器发展的阶段。微型法布里-珀罗(F-P)压力传感器通常有毛细管结构和膜片结构两种,其中,膜片式法布里-珀罗传感器结构简单、测量精度高、抗电磁干扰、化学性质稳定,且普遍体积小、质量轻,便于集成传感网络,能在狭窄空间和恶劣环境下正常工作,在工程建设中具有很大的应用价值。本文设计并制作了波纹膜片式F-P光纤微压传感器,利用商用法兰盘进行光纤的固定及较准,结构简单,价格低廉且工作稳定;搭建了微压传感器的压力测试系统,测得传感器具有良好的线性度、迟滞性和重复性且灵敏度高,适于批量生产。