热应力和残余气压模型提高光纤压力传感器温度性能

“三深”(深海、深地、深空)和“三极”(南极、北极、青藏高原)是重要的战略空间,蕴含着丰富的未知资源,开发重大关键技术和装备对 “三深”和“三极”资源进行探测,关系到国家的可持续发展和战略安全。压力是其中重要的监测参数之一,但极端环境下传统的压力传感器在抗环境干扰、体积、质量等方面已难以满足要求。天津大学精密仪器与光电子工程学院刘铁根教授课题组在国家重大科学仪器设备开发专项“光纤力热复合测试仪开发和应用”和国家自然科学基金仪器专项“飞机大气压力光纤传感阵列监测仪”项目实施中,结合MEMS微加工技术和光纤技术研制了基于法珀微腔的光纤压力传感器,利用硅膜片实现了力学元件和光学反射元件的一体化,配合