飞秒激光微加工制备无衬底太赫兹带通滤波器

利用时域有限差分法, 仿真设计了三组具有不同中心频率的十字形太赫兹带通滤波器, 并搭建了飞秒激光微加工系统, 在单层铝箔上实现了无衬底太赫兹滤波器的加工。利用时域太赫兹光谱系统, 对所加工的器件进行了透射率测试, 实验和仿真结果高度吻合, 所加工的太赫兹滤波器中心频率处的透射率为85%以上, 达到商业化太赫兹滤波器水平。