用于玻璃基纳米孔成形的直线超声电机控制测试系统

为制备5 nm以下的三维纳通道的玻璃毛细管,以直线超声电机为玻璃管拉伸运动平台,激光器为玻璃管加热装置,DSP为主控制芯片搭建纳尺度玻璃管的拉伸运动拉伸系统。利用了DSP芯片中PWM模块调节激光器加热功率,eQEP模块监测光栅尺反馈的超声电机位置,串口模块传输上位机对下位机控制字和下位机对上位机传输的超声电机位置信息。控制测试系统记录超声电机位置信息,研究超声电机速度与拉制的玻璃毛细管三维通道的宽度的关系。