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晶圆评估

上传者: 2021-01-16 20:22:42上传 PDF文件 18.69KB 热度 26次
在包装以前,需要根据用户指定的一些参数对晶圆(或样品)进行检查。图3.24列举了一个典型的规格要求。 主要的考虑是表面问题如颗粒,污染和雾。这些问题能够用强光或自动检查设备来检测出。
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