晶圆生产线瓶颈区并行机半在线调度方法

为提高晶圆生产线瓶颈区生产率, 提出一种瓶颈区并行机半在线调度方法. 该方法基于晶圆制造的“多重 入”特点, 充分利用生产历史信息、可预知信息及实时信息, 分析了瓶颈区短期内的重入流来源, 给出了瓶颈区任务 集的预测方法. 针对非零初始状态的生产线, 设计了以最小化瓶颈区平均加权拖期时间为优化目标的蚁群优化算法, 定义了并行机任务集析取图, 并给出了半在线调度方法的应用算例, 为实际生产管理提供了可行的优化方法.