常见的氧化方法及原理

课程内容: 1 热生长氧化法 1.1 热生长氧化方法 1.1.1 干氧氧化法 1.1.2 水汽氧化法 1.1.3 湿氧氧化法 1.2 各种氧化方法的特点 1.2.1干氧氧化法的特点 1.2.2 水汽氧化法的特点 1.2.3 湿氧氧化法的特点 1.3 热生长氧化机理 1.3.1 干氧氧化