PCB技术中的MEMS封装技术的发展及应用

龙 乐 (龙泉长柏路98号,1栋208室,四川 成都 610100) 摘 要:封装技术在微电子机械系统(MEMS)器件中的地位和作用越来越重要。本文归纳与总结了MEMS封装的特点和发展趋势,重点对MEMS封装技术的应用进行了分析,最后给出一些有益的想法和看法。 关键词:微机电系统;封装;组装技术 中图分类号:TN305.94 文献标识码:A 文章编号:1681-1070(2005)03-01-05 1 引言 当前,国内外半导体集成电路科研水平已基本具备将一些复杂的机电系统集成制作在芯片上的能力,几乎整个1000亿美元规模的产业基础设施都可以用来支持MEMS技术,那些