完美的图像:协助IBM生产芯片

完美的图像:协助IBM生产芯片 凭借一系列的检测系统、发射显微镜及其它以图像为基础的工具,IBM的工程师得以优化其300mm芯片制造工厂的工艺。 在300mm的硅片上使用深亚微米工艺制造高性能的微处理器需要最优化的工艺、最清晰的设计规则和最小的误差。为了使公司的产品达到预期的性能,IBM微测试和开发部门(Micro Test and Development,MTD)诊断实验室的工程师使用大量的图像工具,对半导体硅片和封装的器件进行精密的探测。IBM技术协作部门的电子工程师Pat McGinnis和他的六个同事一道,使用ATE系统对被测试器件进行测试,并设计出能同DUT(dev