传感技术中的信息时代的传感器技术

现实世界的信息是通过传感器获得的,与人们的生活息息相关。传感器已大举进入工业自动化、汽车工业、航天、生物、医学应用领域,且在无线通信、消费品领域亦有广泛的发展空间。传感器种类繁多,涉及物理、化学、电子、机械、生物、医学等学科。在众多传感器技术中,微系统技术起着关键的作用,利用这一技术已研制了各种类型、性能可靠的传感器。此外,传感器无线网络化也是当前一个热门话题,为传感器应用另辟一条蹊径。本文将详细介绍这方面的发展情况。 微系统技术MST(微系统技术)泛指系统内使用有源和无源两种微结构组件的一门技术。MST隐含MEMS(微机电系统),两个术语常常是通用的。微结构或微组件表示长度单元为微米级,最小