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无机残余物

上传者: 2020-12-13 16:17:38上传 PDF文件 15.7KB 热度 12次
无机残余物是那些不含碳的物质。这样的例子有无机酸,如盐酸,氢氟酸。它们会在晶片制造的其它工序中介绍。关于晶片表面有机物和无机物的去除,有一系列的清洗方案,将在下面的部分介绍。
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