21世纪硅微电子技术展望

(王阳元 院士) 微电子技术的发展与进步,主要是靠工艺技术的不断改进,使得器件的特征尺寸不断缩小,从而集成度不断提高,功耗降低,器件性能得到提高。21世纪,微电子技术仍将以尺寸不断缩小的硅基CMOS工艺技术为主流。尽管微电子学在化合物半导体和其它新材料方面的研究及在某些领域的应用取得了很大进展,但还远不具备替代硅基工艺的条件。硅集成电路技术发展至今,全世界数以万亿美元计的设备和科技投入,已使硅基工艺形成非常强大的产业能力。同时,长期的科研投入已使人们对硅及其衍生物各种属性的了解达到十分深入、十分透彻的地步,成为自然界100多种元素之最,这是非常宝贵的知识积累。硅基微电子技术的主要发展方