退火

退火:也叫热处理,集成电路工艺中所有的在氮气等不活泼气氛中进行的热处理过程都可以称为退火。根据注入的杂质数量不同,退火温度一般在450~950°C之间。 激活杂质:使不在晶格位置上的离子运动到晶格位置,以便具有电活性,产生自由载流子,起到激活杂质的作用消除损伤 退火方式:炉退火,可能产生横向扩散!快速退火:脉冲激光法、扫描电子束、连续波激光、非相干宽带频光源(如卤光灯、电弧灯、石墨加热器、红外设备等)1.2.4 制膜 (制作各种材料的薄膜)氧化:制备SiO2层SiO2的性质及其作用SiO2是一种十分理想的电绝缘材料,它的化学性质非常稳定,室温下它只与氢氟酸发生化学反应