通信与网络中的宽带半导体可饱和吸收镜研制方法及选择腐蚀研究

王勇刚, 马骁宇, 吕卉, 王丽明, 刘媛媛(中科院半导体研究所, 北京, 100083)摘要:介绍了用于固体激光器被动锁模自启动实现飞秒级脉冲输出的两种波长的带半导体可饱和吸收镜 (800nm和1550 nm SESAMs) 的研制方法和应用。制作宽带反射层的关键技术之一是AlGaAs/GaAs和InP/ InGaAs/InGaAs的选择腐蚀。分别就几种湿法腐蚀和干法腐蚀进行了详细的分析和比较。 关键词:半导体可饱和吸收镜;宽带;选择腐蚀 中图分类号:TN248.1 文献标识码:A 文章编号:1003-353X(2004)07-0074-021 引言 20世纪80年代以来,超短脉冲激光技术得