显示/光电技术中的TCZ发布平面显示器制造用的低温多晶硅结晶设备

TCZ公司面向制造平面显示器(FPD)发布一种创新型生产工具——TCZ-900X。该公司是美国Cymer公司与德国卡尔·蔡司SMT公司组成的一家合资企业。利用Cymer公司获得专利的激光技术和卡尔·蔡司SMT公司在光学与精密工程方面著名的专门技术,这种先进的TCZ-900X制造工具用于帮助低温多晶硅(LTPS)显示器厂商提高量产产出效率和降低雷射结晶成本。 显示器领导厂商三星电子公司副总经理C.W.金说,“在这个市场中,成本与品质对显示器厂商来说非常重要。改善显示器性能,并同时提高生产良率的技术将最终推动平板显示器(FPD)业向前发展。” TCZ-900X对于诸如准分子雷射退火(E