电子测量中的全新控片检测系统(KLA Tencor)

KLA-Tencor 公司推出了 Surfscan:registered: SP2XP,这是一套专供集成电路 (IC) 市场采用的全新控片检测系统,该系统是根据去年在晶片制造市场上推出并大获成功的同名姊妹机台开发而成。全新的 Surfscan SP2XP 对硅、多晶硅和金属薄膜上的缺陷灵敏度更高,且与其上一代业界领先的产品 Surfscan SP2 相比,在按缺陷类型和大小来分类方面具有更强能力。其特性还包括真空承载装置和业界最佳的生产能力。这些功能是为芯片制造商在晶片厂提供卓越的制程机台监控而设计,使其能将领先的 (≥4Xnm) 元件更快地推向市场。新系统还提供了超高灵敏度操作模式,可加快晶