电子测量中的轴向定位光指示器

在工具显微镜上加上轴向定位部件,可以实现高度方向的坐标测量。美国海军军械研究所试制的3-D型工具显微镜,利用“光指示器”实现了轴向定位。图是它的光学系统原理图,图中灯泡1照亮具有一定宽度的狭缝2,它被透镜3、5或6成像于分划板9上。当物面位于正确位置A时,视场上看到一个明亮居中的十字线像,如视场图(b)所示。如果物面离焦,则十字线像变模糊并且偏离视场中心,如视场图(a)和图(c)所示。可以根据视场图判别物面的轴向位置,从而实现非接触式光学轴向定位。 图 光指示器原理图 来源:ks99