将MEMS传感器用于各种创新的消费类产品设计 上传者：霞露 2020-11-09 00:00:24上传 PDF文件 243.68KB 热度 41次 MEMS即微机电系统,是利用微米级立体结构实现感应和执行功能的一项关键技术。其中,微米级立体结构是利用被称为“微加工”的特殊工艺实现的微米大小的立体机械结构。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
