电子测量中的基于MEMS惯性感测技术的应用变革

引言 虽然自微电子机械系统技术(MEMS)第一次被用于安全气囊和汽车压力传感器领域,至今已有20年左右,但真正让人们更了解惯性传感器的用途,却是任天堂Wii和苹果iPhone的热销,因为这些产品使用了基于运动感测技术的用户界面。 尽管如此,在一定程度上业界的观念仍停留在惯性传感器主要是用于终端产品检测加速度和减速度的应用。从纯粹的科学角度来看,这种说法完全正确,但这样的观点却忽略了许多MEMS加速计和陀螺仪的扩展应用,包括在医疗设备、工业设备、消费电子产品和汽车电子等领域。 1 运动感测和MEMS介绍 加速、震动、冲击、倾斜和旋转——除了旋转外,其它四种运动实事