超越摩尔定律的新技术MEMS
相对于CMOS工艺,MEMS的复杂性在于其涉及机械、声学、光电、化学、生物等多学科,而两者都离不开EDA软件工具的辅助设计来完成这些复杂工作,缩短开发时间、降低成本。
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