CMOS集成电路中ESD保护技术研究

静电在芯片的制造、封装、测试和使用过程中无处不在,积累的静电荷以几安培或几十安培的电流在纳秒到微秒的时间里释放,瞬间功率高达几百千瓦,放电能量可达毫焦耳,对芯片的摧毁强度极大。所以芯片设计中静电保护模块的设计直接关系到芯片的功能稳定性,极为重要。随着工艺的发展,器件特征尺寸逐渐变小,栅氧也成比例缩小。