贝加莱PCC及ACOPOS伺服在刻蚀线上的应用 上传者：msmuzilp 2020-10-27 21:41:17上传 PDF文件 349.17KB 热度 32次 系统为普通糟孔荫罩刻蚀线,主要包括开卷部分、刻蚀腔体部分、第一水洗部分、电解剥离部分、最终水洗部分和最后的烘干及撕边部分。表面有光致抗刻蚀剂的成卷钢带,在开卷部分被拉开,并送人刻蚀腔体。腔体刻蚀液为FeC13,与钢带的无光抗部分反应,形成槽孔。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
