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电接枝技术助力高深宽比TSV

上传者: 2020-10-27 20:37:40上传 PDF文件 193.85KB 热度 11次
3D-IC设计者希望制作出高深宽比(HAR>10:1)硅通孔(TSV),从而设计出更小尺寸的通孔,以减小TSV通孔群在硅片上的占用空间,最终改进信号的完整性。事实上,当前传统的TSV生产供应链已落后于ITRS对其的预测。
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