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反射光学元件助力多光谱成像系统

上传者: 2020-10-27 12:31:07上传 PDF文件 157.89KB 热度 12次
反射式物镜可用于多种应用领域,如激光退火或钻孔,可将可见光波长与红外功率传输两者相结合。使用一套光学系统就可丈量波长为190nm到1μm薄膜的厚度。只要在传感器的响应范围之内,成像系统可涵盖各种波长范围而不需要添加任何光学元件。
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