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半导体金属氧化物气体传感器的原理及温度传感器.docx

上传者: 2020-09-29 05:37:57上传 DOCX文件 255.31KB 热度 22次
本资源使用电子耗尽层理论解释了半导体金属氧化物气体传感器的原理;举例说明了一种MEMS温度或湿度或光传感器的原理
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