介观压阻型微压力传感器设计 上传者：fhxfhx 2020-09-15 02:09:10上传 PDF文件 73KB 热度 49次 该结构的压力微传感器由于敏感元件与变换元件一体化,尺寸小,其固有频率很高,可以测量频率范围很宽的脉动压力。在不同的偏压下,该传感器的灵敏度不同。说明灵敏度可调节。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
