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ASIC与MEMS协同设计的方法

上传者: 2020-08-30 04:27:47上传 PDF文件 123.88KB 热度 23次
传感器性能对MEMS和ASIC参数的高度依赖性表明,闭环传感器的系统级设计需要做大量的折衷考虑,其中的ASIC噪声预算、激励电压、功耗和技术都高度依赖于MEMS参数。
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