利用表面微加工技术实现加速度检测创新 上传者:囧-叔 2020-08-29 10:13:06上传 PDF文件 114.16KB 热度 6次 表面微加工是一种用来构建硅机电结构的技术。 结合板载信号调理电路,可将完整的机电系统经济高效地构建在单个硅片上。 用于汽车安全气囊的加速度计是第一款成功商用的表面微加工传感器。 此后,人们往各个领域进行了探索。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 囧-叔 资源:439 粉丝:0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台,下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容!联系邮箱:server@dude6.com