YANG ZQ 集成电路制造技术 MEMS概述 1.ppt

这里简要介绍了MEMS技术的概念,研究的主要领域和目前的应用领域,重点介绍了MEMS加工技术及其分类,最后给出了该技术的展望,MEMS制造工艺(Microfabrication Process)是下至纳米尺度,上至毫米尺度微结构加工工艺的通称。广义上的MEMS制造工艺,方式十分丰富,几乎涉及了各种现代加工技术。