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FMCS(厂务监视管理系统说明).ppt

上传者: 2020-08-21 05:20:54上传 PPT文件 3.72MB 热度 10次
FMCS 是 Facility Monitoring Control System 的缩写,其中文为厂务监控系统简称,它是针对目前半导体厂内制程所使用的监控系统, 用途是将厂区内特定的,有危害的,影响制程状态或系统资料进行监控。并将其记录,以供问题即时处理及日后问题分析。
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