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太阳能硅片移送用三自由度机械手的设计

上传者: 2020-08-19 04:13:15上传 PDF文件 299.44KB 热度 10次
太阳能硅片移送用三自由度机械手的设计,张野,程树康,为提高太阳能硅片生产过程中硅片的移送效率,介绍一种太阳能硅片移送用三自由度机械手。方案中采用PLC控制三台步进电动机,以此实
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