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压电驱动高带宽纳米定位平台的设计与控制方法综述

上传者: 2020-08-18 22:21:53上传 PDF文件 552.78KB 热度 7次
压电驱动高带宽纳米定位平台的设计与控制方法综述,李春霞,朱利民,近年来,随着纳米科技的不断发展,压电驱动纳米定位平台得到越来越广泛的应用。但是,平台机械结构的低阻尼谐振振动、压电陶瓷驱
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