真空中微机械谐振器件挤压膜阻尼的分子动力学仿真
真空中微机械谐振器件挤压膜阻尼的分子动力学仿真,高流,李普,挤压膜气体阻尼是微机械谐振器件的重要能量耗散因素。目前,为了减小这种阻尼,很多微机械谐振器件都封装在真空中。然而,当气压
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